大家好，曝光剂量修正，关于曝光剂量修正的简介很多人还不知道，现在让我们一起来看看吧！

1、 曝光剂量修正（dose mapper, DOMA）是ASML光刻机的一项功能，它能对曝光剂量做修正，提高曝光区域之间和曝光区域内部的线宽均匀性（inter-field CDU）和（intra-field CDU）。

2、具体的做法是，首先测量整个晶圆上的线宽数据，然后把这些数据上载到光刻机DOMA服务器。

3、服务器根据事先设定的（线宽-曝光能量关系）参数，计算出曝光剂量的修正值在晶圆表面的分布。

4、这一曝光剂量的修正以子程序（dosemapper sub-recipe）的方式链接在下一次的曝光文件中 。

本文关于曝光剂量修正的简介就讲解完毕，希望对大家有所帮助。